Das ionPRO^TM-Vakuumsystem ist eine brandneue Produktionslinie für die Behandlung großer flacher Teile und Produkte mit der von IONICS entwickelten innovativen Ionenimplantationstechnologie. Fünf Ionenquellen ionGUN2000^TM, in Reihe angeordnet, gewährleisten die Effizienz und Homogenität der Ionenimplantation. Eine Schleusenkammer besteht aus zwei Ladeplatten, die eine fließende halbkontinuierliche Behandlung in der Prozesskammer ermöglichen. Die behandelte Oberfläche kann 1600x1800 mm mit einer maximalen Geschwindigkeit von 150 mm / s erreichen. Das System eignet sich für große und kleine Produktionen und ist jetzt betriebsbereit. Das System wurde in Zusammenarbeit mit AGC, GRAUX und MATERIA NOVA entwickelt.